P02500 - SEMI P25 - 焦点深度および最適焦点深度（仕様） Revision:SEMI P25-94 (Reapproved 1104) - Inactive 4 This Guide also describes

4  This Guide also describes the different temperature regions of an internal feeder and the temperature limits of the materials used in each region

7の表1に示す帯電の最大推奨レベルを決定する方法について説明する。SEMI E129にある独自の方法，およびこのガイドとSEMI E78の推奨を整合させる更新情報の両方を含んでいる。

慣例単位は参考目的のみのために括弧内に併記され，最も近い数値に丸められてきた。

3千帕(一大氣壓)以下的製程化學品鋼瓶。

2-0698 (Reapproved 0706)

P02500 - SEMI P25 - 焦点深度および最適焦点深度（仕様） Revision:SEMI P25-94 (Reapproved 1104) - Inactive 4 This Guide also describesNOTICE: This translation is a REFERENCE COPY ONLY. If differences should exist between the English version and a translation in any other language, the English version is the official and authoritative version. SEMI SEMI Global Micropatterning CommitteeNorth American Microlithography Committee2004816North American Regional Standards Committee20049www. semi. org200411 1994 NOTICE: This Standard or Safety Guideline has an Inactive Status because the