Conductor Annual Subscription -(2) StdPbc-0118 この手順は，フォトレジストMIF現像液中におけるナトリウム及びカリウムの分析のためのフレーム原子吸光分析法である。適用可能な濃度範囲は20から1000 ppbである。

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この手順は，フォトレジストMIF現像液中におけるナトリウム及びカリウムの分析のためのフレーム原子吸光分析法である。適用可能な濃度範囲は20から1000 ppbである。

本スタンダードは，ドライポンプ (DRP) タイプの真空ポンプに関する物理的および電気的インタフェースを規定する。ポンプのインタフェースを標準化することにより，ポンプに互換性を持たせることができる。デバイスメーカーはプロセス装置を調達する際，本文書を使用するが，それは，ポンプの互換性に要求されるインタフェースを装置サプライヤに対して指定するためである。半導体プロセス装置サプライヤも，ポンプサプライヤに対して標準化されたインタフェースを指定する目的で，本文書を使用する。

影響－本スタンダードは，クラスタツールモジュールサプライヤに，インタロックを備えること，およびインタロックがトリップする状態を定義することを求めている。

C2W and W2W stacking

steps and common mode steps (see Related Information 2)

Conductor Annual Subscription -(2) StdPbc-0118 この手順は，フォトレジストMIF現像液中におけるナトリウム及びカリウムの分析のためのフレーム原子吸光分析法である。適用可能な濃度範囲は20から1000 ppbである。

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