S02900 - SEMI S29 - 針對含氟溫室氣體(F-GHG)排放特性描述與減量之指導書 Revision:SEMI S29-0712 - Inactive TD/GC-MS is useful for qualitative

TD/GC-MS is useful for qualitative and quantitative analysis of trace-level organic compounds adsorbed on wafer surfaces

本文書はプローバ装置のための独自の装置モデル（PSEM）を記すものである。PSEMはこのクラスの装置に適用される装置特性および装置ビヘイビアで構成され，SEMI E30（GEM）に規定されている基本的要求条件および追加性能に加えて実装するよう要求されている。本文書の目的はプローバ装置を自動化された半導体工場に容易に統合できるようにすることである。そのために本文書ではファクトリオートメーションコントローラの観点から見たプローバモデルのオペレーションモデルを定義している。この定義によってスタンダードなホストインタフェースおよび装置のオペレーションに関するビヘイビアが提供されている。

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called streams

限制條件

S02900 - SEMI S29 - 針對含氟溫室氣體(F-GHG)排放特性描述與減量之指導書 Revision:SEMI S29-0712 - Inactive TD/GC-MS is useful for qualitative(Environmental Health & Safety Technical Committee)201261820127www. semiviews. orgwww. semi. org (ME)(F GHG) F GHG(DRE) (GHG)CF4C2F6C3F8c C4F8CHF3SF6NF3 F GHG F GHG F GHG F GHG(DRE) TFT LCD F GHG F GHG Referenced SEMI Standards SEMI S2 Environmental, Health, and Safety Guideline for Semiconductor Manufacturing Equipment SEMI S23 Guide for Conservation of Energy, Utilities and Materials Used by Semiconductor Manufacturing Equipment