M07600 - SEMI M76 - 開発用直径450 mmシリコン単結晶鏡面ウェーハの仕様 Revision:SEMI M76-0710 - Inactive It also provides for standardized

It also provides for standardized communication with lithography

本文書の目的は，半導体処理装置の高周波（RF）電力供給システムに使われるRF発振器の過渡応答を決定するテスト方法を定義し，SEMI E113をサポートすることである。

採用された方法が彼等の期待を満足させるために品質レベルを認め，相互に合意することは，供給者およびその顧客にとり重要である。統計的仕様は，これを行う便利な方法を提供する。

SEMI S2-0724 (technical revision)

org September 1998

M07600 - SEMI M76 - 開発用直径450 mmシリコン単結晶鏡面ウェーハの仕様 Revision:SEMI M76-0710 - Inactive It also provides for standardizedNOTICE: This translation is a REFERENCE COPY ONLY. If differences should exist between the English version and a translation in any other language, the English version is the official and authoritative version. SEMI SEMI global Silicon Wafer Committee2010430global Audits and Reviews Subcommittee20106www. semi. org 450 mmIC450 mm 450 mm 450 mmAMHS450 mm450 mmSEMI M74 SI (System International Referenced SEMI Standards SEMI E45 Test Method for the