MS01100 - SEMI MS11 - Specification for Microfluidic Port and Pitch Dimensions StdPbc-1113 本法は，以下に述べる条件のもとで得たテストデータをベースにして，チューブフィッティングの性能を決定するために使用することが出来る。しかし，その結果は性能レーティングを意図するものではない。

本法は，以下に述べる条件のもとで得たテストデータをベースにして，チューブフィッティングの性能を決定するために使用することが出来る。しかし，その結果は性能レーティングを意図するものではない。

as well as complex control devices such as robots

This Practice is intended primarily as a guide in preparing an optical microscope for dimensional measurements and is used in conjunction with the instruction manual provided by the manufacturer

SEMI M38-1101 (technical revision)

SEMI MF1809 — Guide for Selection and Use of Etching Solutions to Delineate Structural Defects in Silicon

MS01100 - SEMI MS11 - Specification for Microfluidic Port and Pitch Dimensions StdPbc-1113 本法は，以下に述べる条件のもとで得たテストデータをベースにして，チューブフィッティングの性能を決定するために使用することが出来る。しかし，その結果は性能レーティングを意図するものではない。1 Purpose 1. 1 This Specification provides the standard pitch dimensions for developers of microfluidic devices. 2 Scope 2. 1 This Specification is limited to providing a specific set of values for pitch in a microfluidic interface design, and port size, that ensure that two mating components fit properly. Referenced SEMI Standards (purchase separately) None. Revision History SEMI MS11 0318 (Reapproved 0525) SEMI MS11 0318 (first published)