F07400 - SEMI F74 - ガス供給システムに使用されるメタルシール設計の性能と評価のためのテスト方法 StdTier-Tier1 包装材料や輸送材料
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Description
包装材料や輸送材料
worldwide means for describing and measuring leak rates of mass flow controllers (MFCs)
1-0306 (technical revision)
— 以下の話題は本仕様の範囲を超えるものである。その件については別の仕様で示されるかもしれないが，将来的に本仕様の追加事項とする事は想定しない。
• Equipment recipe components and recipe steps contained in the recipe components as they apply to process modules
F07400 - SEMI F74 - ガス供給システムに使用されるメタルシール設計の性能と評価のためのテスト方法 StdTier-Tier1 包装材料や輸送材料Referenced SEMI Standards SEMI E49 Guide for High Purity and Ultrahigh Purity Piping Performance Subassemblies, and Final Assemblies SEMI F1 Specification for Leak Integrity of High Purity Gas Piping Systems and Components
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