E02900 - SEMI E29 - マスフローコントローラ及びマスフローメータの校正のための標準用語 StdTpc-Process Chemicals - Miscellaneous 2-0211 (Reapproved 0623)

2-0211 (Reapproved 0623)

通信がコンポーネントに関する事項を「検討」できるように，標準装置を定義する。

This Standard provides a means for independent manufacturers to produce equipment and/or hosts which can be connected without requiring specific knowledge of each other

SEMI C71-0815 (technical revision)

本スタンダードは，global Photovoltaic Committeeで技術的に承認されている。現版は2009年5月13日，global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。2009年6月にwww

E02900 - SEMI E29 - マスフローコントローラ及びマスフローメータの校正のための標準用語 StdTpc-Process Chemicals - Miscellaneous 2-0211 (Reapproved 0623)global Gases Committee2010430global Audits and Reviews Subcommittee20106www. semi. org1993200411 Referenced SEMI Standards SEMI E12 Standard for Standard Pressure and Standard Temperature for Flow Units Used in Mass Flow Meters and Mass Flow Controllers SEMI E18 Guideline for Temperature Specifications of the Mass Flow Controller SEMI E28 Guideline for Pressure Specifications of the Mass Flow Controller