Advanced Thin Films StdPbc-1014 SEMI E36 — Semiconductor Equipment

SEMI E36 — Semiconductor Equipment Manufacturing Information Tagging Specification

本仕様が意図しているものは，電子材料グレード単結晶シリコンインゴット成長のために用いられる多結晶シリコンの調達に使用することである。そのようなインゴットは，ウェーハに切断され，その後，半導体デバイス，集積回路，マイクロエレクトロメカニカルシステム（MEMS）を含む他のマイクロエレクトロニック部品の製造に使用される。

6 — Guide for Subsystem Assembly and Testing Procedures – Stainless Steel Systems

SEMI T7-0997E3 (editorial revision)

SEMI D66-0519 (technical revision)

Advanced Thin Films StdPbc-1014 SEMI E36 — Semiconductor EquipmentA comprehensive review of the applications, technology, global markets and suppliers of advanced deposition precursors and materials. This report examines materials used in ALD, CVD, MOCVD, advanced epi, PVD, electroplating and advance spin on dielectrics. 5 year forecasts are included. Published annually, provided in PPT and EXCEL formats.