M03100 - SEMI M31 - 300 mmウェーハの搬送および出荷用フロントオープニング・シッピングボックスの機械仕様 Revision:SEMI M31-0708 - Superseded when fulfilled

when fulfilled

SEMI MF374 — Test Method for Sheet Resistance of Silicon Epitaxial

Originally published in 1986

この仕様は，現在の追跡可能性とラベル表示手順から将来を予想した総合的な単一化システムへのスムーズな移行に備えている。

マテリアル搬送・格納コンポーネントの範囲には，下記のインタフェースが含まれる。

M03100 - SEMI M31 - 300 mmウェーハの搬送および出荷用フロントオープニング・シッピングボックスの機械仕様 Revision:SEMI M31-0708 - Superseded when fulfilledNOTICE: This translation is a REFERENCE COPY ONLY. If differences should exist between the English version and a translation in any other language, the English version is the official and authoritative version. SEMI SEMI Silicon Wafer Global Technical Committee200853global Audits and Reviews Subcommittee20086www. semi. org199820073 IC300 mm (front opening shipping Box: FOSB) FOSBFOSB FOSBICFOSBFOUPFOBITICFOSBFOUPFOBIT 5. 4FOSB 5. 4. 1 5. 4. 2