C00358 - SEMI C3.58 - 八フッ化シクロブタン（C4F8），電子グレード，シリンダ充填，品質99.999%の仕様 Revision:SEMI C3.58-0303 - Superseded SEMI MF1188 –– Test Method

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SEMI MF1188 –– Test Method for Interstitial Oxygen Content of Silicon by Infrared Absorption with Short Baseline

この文書は，SEMI E78，SEMI E43，静電気を測定するその他の方法，および静電気制御方法の性能パラメータを参照している。

3D normal luminance uniformity

orgで入手可能となる。初版は1997年発行。前版は2005年11月発行。

SEMI P45-1218 (technical revision)

C00358 - SEMI C3.58 - 八フッ化シクロブタン（C4F8），電子グレード，シリンダ充填，品質99.999%の仕様 Revision:SEMI C3.58-0303 - Superseded SEMI MF1188 –– Test MethodNOTICE: This translation is a REFERENCE COPY ONLY. If differences should exist between the English version and a translation in any other language, the English version is the official and authoritative version. SEMI SEMI Gases Global Technical Committee2011912global Audits and Reviews Subcommittee201110www. semiviews. org www. semi. org20033 (C4F8) (C4F8) Referenced SEMI Standards None.

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