PV08800 - SEMI PV88 - 惰性气体熔融红外吸收法测定光伏多晶硅中氢含量的测试方法 Revision:Default Title • Description of the capabilities

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このガイドは，シリコンウェーハの表面ラフネスの特徴を調べ，報告するのに使用する測定方法を規定する手順を記述する。それは，さらに他のタイプの平面ウェーハ材料にも適用できる。SEMI M1に規定されているようなシリコンウェーハの研磨された表面のラフネスは一般にマイクロラフネス領域にあることに注意をすべきである。

Master Class Information

SEMI E14 — Measurement of Particle Contamination Contributed to the Product from the Process or Support Tool

a particular method of converting from dopant density to resistivity and vice versa must be available since some test methods measure resistivity while others measure dopant density

PV08800 - SEMI PV88 - 惰性气体熔融红外吸收法测定光伏多晶硅中氢含量的测试方法 Revision:Default Title • Description of the capabilitiesNOTICE: This translation is a REFERENCE COPY ONLY. If differences should exist between the English version and a translation in any other language, the English version is the official and authoritative version. %, m m0. 0001 mg2. 5 mg1 g0. 00001% (m m)0. 2500% (m m)0. 15 g0. 00007% (m m)1. 666% (m m)0. 0001 mg1. 0 mg1 g0. 00001% (m m)0. 1000% (m m)0. 15 g0. 00007% (m m)0. 666% (m m)0. 00008 mg2. 5 mg1 g0. 000008% (m m)0. 2500% (m m)0. 15 g0. 00006% (m