E01600 - SEMI E16 - Guide for Determining and Describing Mass Flow Controller Leak Rates StdDcs-Superseded The scope of this Standard

The scope of this Standard is to define WJOBJ which represents WJ

本スタンダードは，直径450　mmのウェーハおよびクラスターツールモジュールの間のインタフェースにのみ適用される。例外として搬送モジュールは，インタフェース面を越えて操作されるがゆえにプロセスモジュール内のウェーハ搬送面の定義が必要となる。

Elongation

SEMI E125 — Specification for Equipment Self-Description (EqSD)

本スタンダードは，global Gases Committeeで技術的に承認されている。現版は2010年4月30日，global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。2010年6月にwww

E01600 - SEMI E16 - Guide for Determining and Describing Mass Flow Controller Leak Rates StdDcs-Superseded The scope of this StandardThe purpose of this Guide is to establish a uniform, worldwide means for describing and measuring leak rates of mass flow controllers (MFCs). The leak integrity of a gas delivery system is important to maintaining product quality and performance. This Guide is intended to prevent confusion and misunderstanding between manufacturers and users. In particular, it distinguishes between mechanical and diffusion leak rates. This Guide contains definitions