F01000 - SEMI F10 - フッ素樹脂製チューブフィッティングに損傷を生じさせるのに必要な内部圧力を決定するためのテスト方法 StdTpc-Photolithography Metrology ボトムカセットIDタグ領域（オプション） （1）

ボトムカセットIDタグ領域（オプション）　（1）

as assessed using SEMI S10 and SEMI S14 and considering the hazards discussed within this Document

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Subordinate Standards (included):

SEMI S30-1023a (delayed revision)

F01000 - SEMI F10 - フッ素樹脂製チューブフィッティングに損傷を生じさせるのに必要な内部圧力を決定するためのテスト方法 StdTpc-Photolithography Metrology ボトムカセットIDタグ領域（オプション） （1）NOTICE: This translation is a REFERENCE COPY ONLY. If differences should exist between the English version and a translation in any other language, the English version is the official and authoritative version. SEMI SEMI NOTICE: This Standard or Safety Guideline has an Inactive Status because the conditions to maintain Current Status have not been met. Inactive Standards or Safety Guidelines are available from SEMI and continue to be valid for use. SI