G04200 - SEMI G42 - 半導体パッケージのジャンクション部と周囲間の熱抵抗測定用標準熱抵抗測定基板の仕様 StdPbc-1114 orgで入手可能となる。初版は2000年3月発行。前版は2007年3月発行。

orgで入手可能となる。初版は2000年3月発行。前版は2007年3月発行。

SEMI G86-0303 (Reapproved 0811)

3-0600 SEMI M23

and chip sizes for polysilicon to determine the chlorine content

widely applicable

G04200 - SEMI G42 - 半導体パッケージのジャンクション部と周囲間の熱抵抗測定用標準熱抵抗測定基板の仕様 StdPbc-1114 orgで入手可能となる。初版は2000年3月発行。前版は2007年3月発行。global Assembly & Packaging Technical Committee201171global Audits and Reviews Subcommittee20118www. semiviews. org www. semi. org1986200411 : Referenced SEMI Standards SEMI G32 Guideline for Unencapsulated Thermal Test Chip SEMI G38 Test Method for Still and Forced Air Junction to Ambient Thermal Resistance Measurements of Integrated Circuit Packages